晶圆料盒定位|某半导体制造商
用户采用复合机器人进行晶圆转运,晶圆料盒来料时倾斜角度过大,2D方案无法实现定位。用户通过部署3D视觉定位系统,获取晶圆料盒空间坐标后引导协作机器人进行精准抓取,放置在移动机器人的料架上。
解决方案
AT-S1000-06C-S采用光栅结构光及双目成像技术,具有高精度、高节拍、集成度高、维护方便等特点。产品结构稳定,智能化程度高、通用性强,无需二次开发,帮助用户实现高效转运。
方案优势
智能纠偏
3D视觉定位系统可通过快速扫描获取晶圆料盒的六维度空间坐标,允许工件任意位姿来料,视野内均可实现智能纠偏,引导机器人调整位姿实现抓取。
毫米级定位精度
双目光栅结构光方案满足毫米级定位精度要求,单次定位节拍<3s,满足物料转运效率。
良好的适应性
晶圆料盒材质较多,选用蓝光光栅方案,可应对一定程度的表面反光,可在50000lux光照度下实现完整成像,具备良好的环境适应性。
易操作易维护
系统高度集成,连接方便,用户无需具备过多自动化编程知识即可掌握操作。工业级品质保障产品使用寿命达5~8年,日常仅需外观清洁、安装紧固等常规维保。
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